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不过他也不想完全把这些活给揽下来。
毕竟有一些市场很小,已经有其他不错的国产厂家在里头玩的话,南山设备就没有必要去凑热闹了。
对于潘金兴的这个说法,章京也基本上是认可的。
“通常电子特气的纯度要求必须达到5N及以上级别,N代表纯度百分比中9的个数。”
“晶圆制造对电子特气的纯度要求更为严格,一般要求大于6N。”
“例如在晶圆制造过程中沉积成膜工段的硅烷特种气体纯度要求达到8N及以上。”
“除此之外,配比精度是针对混配气体的核心参数,即精准控制不同气体的混配比额,行业内一般以ppm、ppb、ppt以及百分数来表示组分配比。”
“如果杂质含量过高,轻则导致下游相关批次产品质量不达标,重则扩散污染整条生产线,造成高额损失。”
“越是制程先进的生产线,对于电子特气的质量要求就越高。”
“目前我们南山半导体的芯片制程已从过去的60nm、28nm发展到目前先进的14nm,对应电子特气中的污染粒子体积也要缩小许多倍以上,才能确保晶圆不受污染,保持输出产品的良品率。”
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