《关闭小说畅读模式体验更好》

        “一台光刻机，有三大关键部分组成。”

        “第一部分是光源、第二部分是光学系统、第三部分是蚀刻工作台。”

        “每一部分的技术挑战都堪比登月。”

        “先说光源，那阿斯麦刚刚生产出来的全球最先进的光刻机EUV光刻机来说，这是一种13.5纳米波长的极深紫外光，要产生这种光，目前的做法是用高功率的激光轰击一个直径只有三千万分之一米的小锡球。”

        “这个事情，只是简单地一句话是不足以描述它的难度，我需要展开来说。”

        贺光明觉得曹阳对光刻机应该是了解的比较很少，要不然不会做出让一直生产机床等设备的南山设备去研究光刻机。

        所以他准备好好的给曹阳扫盲一下。

        “首先要让一束激光准确击中正在以时速大约200英里运动的小锡球，等小锡球的温度达到50万度时，再用一束激光轰击它，这时就能产生波长13.5纳米的极深紫外光。”

        “要持续稳定产生这种紫外光，需要以每秒钟大约5万次的频率轰击小锡球。”

        “这种激光器全世界只有一家德意志公司能生产，这家叫通快的德意志公司用了十年时间才研发成功，单单是这台激光器就有45700多个零件。”

        内容未完，下一页继续阅读