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“但你可能没想到,通快公司的这台激光器又依赖于一家立/陶/宛的公司提供关键设备,没有这家立/陶/宛公司制造的光源设备,通快公司也生产不出来相关的设备。”
“而哪怕是你能搞定这一步,那么下一个难关是如何把这种极深紫外光收集起来,形成一束极深紫外光的激光呢?”
“这里面就涉及到了光学系统。”
贺光明看到曹阳没有打断自己的话,以为对方是被自己说的难度给震住了。
所以继续很是积极地在那里解释着。
“为EUV研制的这套光学系统全世界也只有一家德意志公司能制造,它就是大名鼎鼎的蔡司公司。”
“很多人可能听说过蔡司生产的相机镜头是世界上最好的镜头之一,可是相机镜头与EUV光学系统用的镜头比起来,那就好像是螺旋桨撒农药的飞机和喷气式战斗机的差别了。”
“这套光学系统至少涉及以下这些技术挑战:高精度非球面加工,多层膜反射镜,高质量熔炼,离子束抛光技术,极限精度磨制。”
“最终的目标是要制作出一片绝对光滑平整的镜片,要光滑到什么程度呢?”
“用蔡司自己的宣传比喻,就是把这片镜片放大到整个德意志那么大,起伏也没超过0.1毫米。”
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