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        “我们的灵敏度稍微比JSR的低一些，但是对比度比它们的要高。”

        “抗刻蚀比方面跟它们的基本上是一个水平，曝光宽容度也是基本相当，但是还有提升空间。”

        赖远鸿一下就把主要的几个性能指标的情况给介绍了一下。

        灵敏度是衡量曝光速度的指标。

        光刻胶的灵敏度越高，所需的曝光剂量越小。

        南山化学生产的EUV光刻胶的灵敏度虽然略低于JSR，但是不影响使用，无非就是要多消耗一点光刻胶而已。

        而对比度直接影响到胶的分辨能力。

        光刻胶从曝光区到非曝光区过渡的陡度，对比度越好，形成图形的侧壁越陡峭，分辨率越好。

        南山化学在这方面的性能，显然是很不错的。

        至于抗刻蚀比，这一性能通常是以刻蚀胶的速度与刻蚀衬底材料的速度之比来表示的，又称之为选择比。

        举個例子，如果某一光刻胶与硅的抗刻蚀比为10，这表明当刻蚀硅的速度为1μm/min时，光刻胶的刻蚀速度只有100nm/min。

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